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敞开式光栅尺

设计用于需要高精度测量的机床和系统,典型应用包括:
半导体工业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超精密机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直接驱动

产品系

应用

LIC

LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27 m内的绝对位置。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。

LIP

LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。

LIF

LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR玻璃基体光栅,扫描方式为干涉扫描。特点是精度和重复精度高,安装简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中(参见其单独“产品信息”)。

LIDA

LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关。

PP

PP双坐标编码器的测量基准是一个平面DIADUR相位光栅,扫描方式为干涉扫面。用于测量平面中位置。